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什么是薄膜膠帶？
【發(fā)布日期：2016-10-11 09:54:46】
為了提高元件(如晶體管)和金屬材料的耐溫、耐腐蝕等特性，需要在表面噴鍍或擴(kuò)散滲透一層至多層金屬薄膜。薄膜厚度在10埃到幾個(gè)微米左右。對(duì)于極薄的單金屬薄層可以用特征x射線的強(qiáng)度變化來對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)定。其方法是:先MI1出薄膜金屬的特征x射線強(qiáng)度，除以純金屬塊相同波長(zhǎng)x射線的強(qiáng)度而換算成相對(duì)強(qiáng)度百分值，然后用此值查對(duì)標(biāo)準(zhǔn)曲線，即可N'l1到金屬薄膜的厚度。
標(biāo)準(zhǔn)曲線是將一系列已知厚度(厚度可用光學(xué)干涉等方法測(cè)量)的薄膜測(cè)出其相對(duì)強(qiáng)度百分值后繪出的。由于這種側(cè)厚法要求在測(cè)量樣品厚度時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件應(yīng)與標(biāo)準(zhǔn)曲線一致，而且薄膜下的基底也應(yīng)是相同的材料，所以只適用于對(duì)大量薄膜產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn)方法。
雖然如此，但它仍有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，例如對(duì)那些合金薄膜或腐蝕薄膜，擴(kuò)散滲透薄膜等多元素組成的薄膜，在測(cè)最其厚度的同時(shí)，尚可測(cè)定薄膜中的元素組成，因?yàn)橄鄬?duì)強(qiáng)度百分值代表的是質(zhì)量厚度(毫克/厘米，)而并不是直接代表單純的厚度(厘米)，所以薄膜中各個(gè)組成的毫克/厘米2值相加起來，即可以得到總的成分。
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